江蘇熱式質(zhì)量流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-100% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間<3 秒
預(yù)熱時間 5 min(T95)，30 分鐘最佳
閥門 常閉式
最大工作壓力 3 MPa(30bar)
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃(環(huán)境和氣體)
濕度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 卡套、VCR、快插、快擰(可選)
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.96kg
服務(wù)熱線：4008919886
產(chǎn)品型號：MFC330
更新時間：2026-01-08
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問 量 ：337
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