更新時間:2026-01-06
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(1)注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料
(2) 注意輕拿輕放妥善保管
MFM/MFC比較精密,應(yīng)避免受到撞擊和強(qiáng)烈振動。產(chǎn)品不用時注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。
(3) 注意系統(tǒng)設(shè)計
用戶購買MFM/MFC后,往往要組建一個系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計時,不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn),還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議:
A. 注意加裝過濾器,以凈化氣源,延長MFM/MFC的使用壽命。
B. 對于反應(yīng)系統(tǒng),建議在MFC的出氣端加裝單向閥,以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞 MFC。
C. 對于高壓系統(tǒng),應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥(或其它節(jié)流裝置)及壓力表,以便于保證MFC的工作壓差。
D. 對于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體,應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性(檢漏時不要忽視減壓器),必要時設(shè)計吹洗旁路,隨時進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕3帧?/p>
E. 對于要求比較高的氣路系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對于使用有害氣體的系統(tǒng),必須嚴(yán)格檢漏。氣路柜應(yīng)有排風(fēng)系統(tǒng), 防止對人員和設(shè)備的損傷。
F. 有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題,例如采用單點(diǎn)接地。
G. MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測﹑調(diào)零,并安全可靠。
H. 對可靠性要求系統(tǒng),應(yīng)注意冗余設(shè)計。
(4) 注意正確使用操作
對于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用有害氣體的系統(tǒng),應(yīng)當(dāng)制定完善的安全操作規(guī)程, 防止發(fā)生誤操作。
(5) 注意使用氣體與流量計的密封材料相適應(yīng)
流量計通常采用的密封材料是氟橡膠,能適合大多數(shù)氣體的使用,包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對于氨氣,必須使用耐氨橡膠;對于有機(jī)溶劑類氣體,如丙酮、甲苯等,必須使用硅橡膠;對于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì),必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。
(6) 注意定期標(biāo)定
質(zhì)量流量計原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。
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