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微小熱式氣體流量計(jì)MFC350 系列為全新升級(jí)的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)里流量計(jì)/控制器。

毛細(xì)管氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC350 系列為全新升級(jí)的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)里流量計(jì)/控制器。

350毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) MFC350 系列為全新升級(jí)的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)里流量計(jì)/控制器。

600系列氣體質(zhì)量流量計(jì) MFC600系列層流差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器， 其結(jié)構(gòu)包含層流差壓式流量傳感器、 高精度，比例閥和控制系統(tǒng)。 內(nèi)置壓力和溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，核心算法，動(dòng)態(tài)調(diào)控高精度比例閥以自動(dòng)控制氣體流量，提供更加精準(zhǔn)和穩(wěn)定的氣體流量測(cè)量和控制。

愛(ài)拓利氣體質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

愛(ài)拓利氣體質(zhì)量流量計(jì)系列 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。