熱式氣體質(zhì)量流量計MFC350 系列為全新升級的毛細管熱式氣體質(zhì)里流量計/控制器。

產(chǎn)品特點

精度：0.5 % F.S.

測量范圍：0.5%~100% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

技術參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范圍  1%F.S-100%F.S.（1:100）

準確度  0.2% F.S

重復精度  0.05% F.S

線性度  0.1%F.S

控制響應時間  100ms

預熱時間  0s

閥門  常閉

泄漏率  1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)

1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）

分辨率 0.001sccm

愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學科技園。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊，具有高水平的產(chǎn)品設計、結構、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時，愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質(zhì)量控制體系，并通過了ISO9001質(zhì)量體系認證。通過標準化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應用經(jīng)驗積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應速度快、性能穩(wěn)定。