微小流量氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品型號(hào)：MFM330

更新時(shí)間：2025-10-31

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

訪(fǎng) 問(wèn) 量：383

服務(wù)熱線(xiàn)

18168878188

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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微小氣體質(zhì)量流量計(jì)的原理、應(yīng)用

產(chǎn)品介紹

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

微小流量氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求潔凈干燥氣體

氣體種類(lèi) 98+氣體可選

量程 10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍 0.5%-100% F.S.

準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.

重復(fù)精度 ±0.2%F.S.

線(xiàn)性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時(shí)間 <1s

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

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