氧氣氣體質(zhì)量流量控制器?氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備?。

該設(shè)備的工作原理基于流體力學(xué)和傳熱原理，通過(guò)質(zhì)量流量傳感器測(cè)量氣體流經(jīng)管道時(shí)的壓差和溫度變化，進(jìn)而計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量，并通過(guò)控制閥門調(diào)節(jié)氣體流量，使其保持在設(shè)定的范圍內(nèi)?。

技術(shù)參數(shù)

     主要參數(shù)

介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門 常閉式

• 最大工作壓力

  3 MPa（30bar）
• 工作壓差范圍

  0-1 MPa
• 工作溫度范圍

  -20~65℃（環(huán)境和氣體）
• 濕度范圍

  0 ~ 98%無(wú)凝露
• 氣路接頭類型

  卡套、VCR、快插、快擰（可選）
• 氣體接觸材質(zhì)

  氟橡膠、304/316不銹鋼
• 密封材質(zhì)

  氟橡膠 FKM
• 防護(hù)等級(jí)

  IP40
• 安裝方式

  水平安裝方向校準(zhǔn)
• 固定孔

  M4 ? 5mm
• 重量

  0.96kg