高精度氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

    主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間  <3 秒

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門 常閉式

MFC330氣體流量計(jì)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造：用于控制工藝氣體（如氮?dú)?、氬氣、氫氣）的流量?/p>

光伏產(chǎn)業(yè)：在薄膜太陽(yáng)能電池制造中，精確控制氣體流量。

化工行業(yè)：用于反應(yīng)氣體流量控制，確保反應(yīng)過(guò)程穩(wěn)定。

生物制藥：在發(fā)酵、細(xì)胞培養(yǎng)等過(guò)程中，控制氧氣、二氧化碳等氣體流量。

環(huán)境監(jiān)測(cè)：用于氣體采樣和分析系統(tǒng)，確保采樣流量準(zhǔn)確。

實(shí)驗(yàn)室研究：在科研實(shí)驗(yàn)中，精確控制氣體流量。

食品和飲料行業(yè)：用于氣體混合和包裝過(guò)程中的流量控制。