MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運放電路等部件組成。

產(chǎn)品型號：MFC330

更新時間：2025-10-31

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流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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產(chǎn)品介紹

MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運放電路等部件組成。

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量外標(biāo)法和溫壓補償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實氣體流量值。

氣體實際流量值與流量設(shè)定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制.

熱式氣體質(zhì)量流量控制器