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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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當前位置：首頁產品中心流量計MFM330MFM氣體流量計

MFM氣體流量計
產品簡介：

MFM氣體流量計由電路板，傳感器進出氣管接頭，分流器通道機殼，只對氣體質量流量進行測量。

產品型號：MFM330

更新時間：2025-10-31

廠商性質：生產廠家

訪 問 量 ：573

服務熱線

18168878188

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產品介紹

MFM氣體流量計

  MFM氣體流量計產品特性：

   ◆無可移動部件
   ◆支持多種通訊協(xié)議
   ◆容易安裝及維護
   ◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂
   ◆可測多種氣體
   ◆一體液晶顯示和按鍵操作
   ◆內置溫度和壓力傳感器
   ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量

      應用領域：


 MFM氣體流量計技術參數(shù)：


    ——分析儀器

——干刻（RIE/DRIE）
流量規(guī)格：

0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

  ——生物技術

——氣相色譜分析

   ——激光焊機

——過程自動化

準確度：

 ±0.5%F.S.

  ——真空鍍膜


 ——燃料電池
重復精度：

±0.2%F.S.

 

  產品尺寸：

 

 

MFM氣體流量計

使用溫度：

 -20~65℃
使用濕度：

0~98%（?凝露）

Max耐壓：

 3MPa
響應時間： <1s
供電電壓：

15~40VDC
功率：

<1.2W
通訊方式： RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質： SUS304、SUS316L

密封件材質：

 氟橡膠

氣路接頭：

 快擰、快插、卡套、VCR


 外接顯示器尺寸：
MFM氣體流量計


  電氣連接：DB9



  產品造型：

 

 

 

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